微細加工・熱処理装置
各種微細加工・熱処理装置を取り揃えております。
・UVナノインプリント装置
・マイクロコンパクトプリンター
・アライメント仮止め装置
・両面同時露光アライナー
・微細エッチング装置
・横型炉・縦型炉
製品一覧
UVナノインプリント装置 |
・αβ角度姿勢制御・精密な圧力制御機能を持つモールドテーブルを採用 ・残膜の低減、均一性を大幅に向上させるSOFTstageシステム装備 ・特殊ガス雰囲気中でのインプリント処理によりバルブ欠損除去を実現 ・Step and Repeatで資料上100×100mmエリアにパターン形成可能 |
|---|---|
| マイクロ コンパクトプリンター  |
有機エレクトロニクス分野や、バイオ用マイクロ構造体 等を、ＰＤＭＳスタンプによるチオールインク転写によって製作致します。 マスクアライナーとしてもご使用いただけますので各種実験・生産に柔軟に対応致します。 |
アライメント仮止め装置 |
・微小な構造物のあるフィルム、ガラス、金属、シリコン等の資料を 高精度に位置合わせし密着させることが可能 ・小型試料のアライメントも対応 ・接合面同士の近接動作は微動が可能 ・コンタクト圧はエアシリンダにより調整が可能 |
両面同時露光アライナー |
・多くの出荷実績がある両面同時露光式アライナーです。 ・一時露光は両面同時、二次露光以降は片面づつの露光によりシンプルで 応用が利くモデルです。 ・各種ご要望に合わせカスタマイズも承ります |
微細エッチング装置 |
高平滑面・高アスペクト比の微細加工が可能なプラズマエッチング装置です。 多様な基板材料に対応し、特にプラスチック製マイクロチップ、マイクロデバイスの試作加工やプラスチック材料、SiO2材料の微細加工に最適です。 |
横型炉・縦型炉 |
研究試作用、生産対応自動化装置
・2インチの実験炉から、12インチの大型炉まで設計製造いたします ・最高温度1,400℃にも対応可能です ・LP-CVDの対応もいたします ・仕様は、さまざまなご要求に応じて対応いたします ・既存装置の改造にも対応いたします |